SCI-552 臭氧发生器控制器美国TeledyneAPI
SCI-552是臭氧输送系统的控制器，能够为很多系统部件提供电气控制界面，包括：臭氧发生器、EV阀、质量流量计、背压控制器、TAPI452臭氧传感器、 TAPI 470 溶解臭氧传感器和水冷却器。
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介绍
产品名称:臭氧发生器型号系列:SCI-552
品牌:Teledyne API
产地:美国
价格:最终成交价格需联系客服
SCI-552臭氧发生器介绍:
SCI-552是臭氧输送系统的控制器，能够为很多系统部件提供电气控制界面，包括：臭氧发生器、EV阀、质量流量计、背压控制器、TAPI452臭氧传感器、 TAPI 470 溶解臭氧传感器和水冷却器。
SCI-552基于软硬件特点，提供了很多系统联锁功能，灵活性高，允许用户通过前面板用户界面、MODBUS串行接口或各种离散型数字和模拟输入来控制整个系统。SCI-552能够通过两条独立的臭氧输出渠道控制两台臭氧发生器。
SCI-552臭氧发生器特点:
- •RS-232 MODBUS远程支持
- •最多控制2台臭氧发生器
- •最多与2台452和470臭氧测量仪器交互
- •最多控制4台质量流量控制器
- •最多控制2台背压控制器
- •最多控制2个EV阀
- •最多控制1台水冷却器
- •系统联锁输入
- •远程系统级别控制和状态输入/输出
SCI-552臭氧发生器应用:
- •化学气相沉积(CVD)
- •原子层沉积(ALD)
- •氧化物生长
- •表面处理
- •灰化
- •粒子清洁
- •光刻胶去除
- •其他
SCI-552臭氧发生器参数:
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