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产品介绍

上海仪电物光(原上海精科物光) 光电轮廓仪 WGL(停产)

  

 

 

特 点

 

       由于仪器测量精度高,具有非接触和三维测量的特点,并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果,本仪器适用于各级测试、计量研究单位工矿企业计量室,精密加工车间,也适用于高等院校和科学研究单位等。

 本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法,测量时不损伤工件表面,能快速测得各种工件

表面微观形貌的立体图形,并分析计算出测量结果。

 

 适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘的刻线深度

 

 光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌

 

 磁(光)盘、磁头表面结构测量;硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。

 

选配件

 

 

 

微量试管                                                                                   请询价防腐恒温试管                                                                             请询价恒温试管                                                                                   请询价试管(旋光管)                                                                          请询价标准石英管                                                                                请询价泡式旋光管适用于WZZ-2B                                                          请询价熔点毛细管(封口),500支/套,塑料桶装,物光专用80mm            请询价WRR的毛细管                                                                            请询价

 

参数名称     参数值

在连续表面上,相邻二象素之间

没有大于1 / 4 波长的高度突变时  

   1000 一1nm

相邻二象素之间含有大于1 / 4 波长

的高度突变时  

   130 一1nm
测量的重复性     δRa ≤0.5nm
物镜倍率  

   40X

数值孔径     Φ 65
工作距离     0.5mm
仪器视场 目视     Φ0.25mm
摄象     0.13×0.13mm
仪器放大倍数 目视     500×
摄象(计算机屏幕观察)    2500×
接收器测量列阵     1000X1000
象素尺寸     5.2×5.2µm
测量时间采样(扫描)时间     1S
仪器标准镜 反射率(高)    ~50 %
反射率(低)    ~4 %
照明光源     白炽灯6V 5W
绿色干涉滤光片波长     λ≒530nm
半宽度     λ≒10nm
主显微镜升程     110 mm
工作台升程     5 mm
X 、丫方向移动范围     ~10 mm
工作台旋转运动范围     360°
工作台顷斜范围     ±6°
计算机系统      P4 , 2 .8G 以上,内存1G以上17寸纯平显示器
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